背景介绍：
随着微/纳米科学与技术的迅猛发展，以尺度微小及结构复杂为特征的微小型化技术在航空航天、国防科技、生物医疗、新兴电子产品等领域中有着很强的应用背景，并在医疗器械、汽车、电子/信息设备等方面已有非常广泛的应用。这些微型零部件的加工制造技术有微机电系统加工技术、微细特种加工技术和微切削加工技术等，而微切削技术，特别是微铣削技术在加工三维复杂结构的微型零部件方面有着其独特的优势。
应用方向：
1、超声辅助振动微细铣削加工研究
2、10μm-0.2μm微铣刀刀具加工试验台
3、薄壁结构件铣削参数研究
4、碳化硅陶瓷、氧化铝陶瓷、钛合金等铣削加工研究
5、铣刀刀具磨损、表面成形质量、毛刺形成等研究
6、配合多轴力传感器，对不同材料加工工艺参数研究
结构形式：
运动台基座、静龙门结构选用济南青大理石材质，与印度石材质、铸铁材质、铝合金材质相比有良好的力学性能。
XY轴选用是十字叠层结构，三片式结构（下轴定子组件、下轴动子组件和上轴动子组件，下轴动子组件和上轴定子组件共用一个组件）组成，优势：尽量避免因叠层引起的阿贝误差，影响整体精度性能。XY轴附带防护，防粉尘、碎屑。XY轴负载为铣削加工件。
Z轴负载为高速主轴（转速大于100000rpm）考虑铣削加工时高速主轴的工况，对Z轴刚度和龙门大理石结构设计的刚度要求。Z轴选用精密重载预压导轨，龙门结构有限元模型需进行静力学分析和模态分析，以尽量减小静力变形量和提高一阶固有频率为目的，对龙门结构的高度、厚度等进行优化设计。Z轴配置左右双气缸做配重，使得系统有较好的平衡。平衡气缸的特点：其密封件具有低摩擦特性，无油润滑，可有效降低电机驱动力，运行平稳，具有较好的缓冲能力，其布局紧凑美观。
精度指标：
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轴号 |
X轴 |
Y轴 |
Z轴 |
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有效行程 |
200mm |
200mm |
100mm |
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补偿后定位精度 |
±0.75μm |
±0.75μm |
±0.75μm |
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重复定位精度 |
±0.5μm |
±0.5μm |
±0.5μm |
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直线度 |
±2μm |
±2μm |
±2μm |
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平面度 |
±2μm |
±2μm |
±2μm |
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最小步距 |
0.1μm |
0.1μm |
0.1μm |
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最大速度 |
200m/s |
200m/s |
100m/s |
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最大加速度 |
0.1g |
0.1g |
0.1g |
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最大负载 |
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15kg |
20kg |
